近期我司新品發(fā)布ULVAC愛(ài)發(fā)科 真空泵  CR300B

近期我司新品發(fā)布ULVAC愛(ài)發(fā)科 真空泵  CR300B

發(fā)布日期

2026年4月29日

ULVAC愛(ài)發(fā)科 真空泵  CR300B產(chǎn)品介紹

在現(xiàn)代工業(yè)與科研領(lǐng)域，對(duì)真空環(huán)境的潔凈度、抽氣效率及運(yùn)行成本要求日益嚴(yán)苛，ULVAC愛(ài)發(fā)科CR300B多級(jí)羅茨型干式真空泵正是為滿足這類需求而生的核心設(shè)備。作為CR系列中的大抽速型號(hào)，它憑借無(wú)油潔凈、高效節(jié)能、適配性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)，成為眾多高要求場(chǎng)景的理想選擇。

CR300B的核心優(yōu)勢(shì)首先體現(xiàn)在無(wú)油潔凈的運(yùn)行特性上。它采用非接觸式轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)子與殼體間保持微小間隙，無(wú)需真空油潤(rùn)滑。軸承和齒輪等旋轉(zhuǎn)部件的潤(rùn)滑油通過(guò)精密密封件嚴(yán)格隔離，杜絕了真空油返流和油霧污染問(wèn)題。這一特性使其能為半導(dǎo)體制造、精密鍍膜等對(duì)容忍的工藝，提供純凈無(wú)油的真空環(huán)境，有效避免了油蒸氣對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備精度的影響。同時(shí)，無(wú)接觸運(yùn)行大幅減少了機(jī)械磨損，顯著延長(zhǎng)了泵的使用壽命，降低了設(shè)備的維護(hù)頻率和長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)成本。

空冷設(shè)計(jì)是CR300B的另一大亮點(diǎn)。相較于傳統(tǒng)水冷式真空泵，它無(wú)需配備復(fù)雜的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，免去了冷卻水配管安裝、水質(zhì)管理等一系列繁瑣工作，不僅降低了初期安裝成本，還減少了對(duì)公用工程的依賴。即使在冷卻水供應(yīng)不便的偏遠(yuǎn)廠區(qū)或科研實(shí)驗(yàn)室，CR300B也能穩(wěn)定運(yùn)行。此外，它無(wú)需軸封氮?dú)獾容o助氣體，進(jìn)一步簡(jiǎn)化了運(yùn)行條件，讓設(shè)備部署更加靈活。

在抽氣效率方面，CR300B以300m3/h的大抽速脫穎而出，能快速實(shí)現(xiàn)腔室抽空，大幅提升工藝周轉(zhuǎn)效率。比如在真空鍍膜前的腔室準(zhǔn)備階段，它可以在短時(shí)間內(nèi)將腔室壓力降至工藝要求范圍，減少等待時(shí)間，提高生產(chǎn)節(jié)拍。同時(shí)，緊湊的機(jī)身設(shè)計(jì)讓它在批量生產(chǎn)型真空設(shè)備的集成中具備良好適配性，無(wú)需占用過(guò)多空間，便于工廠進(jìn)行生產(chǎn)線布局優(yōu)化。

CR300B的功能擴(kuò)展性也為其加分不少。它可選配氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)，引入干燥氣體防止水蒸氣在壓縮過(guò)程中凝結(jié)，最大水蒸氣處理量可達(dá)500g/h，特別適用于真空干燥等需大量排水的應(yīng)用場(chǎng)景。此外，可選配的ECO-SHOCK節(jié)能裝置，能在不影響抽氣性能的前提下，將電力消耗最大減少80%，同時(shí)抑制泵體發(fā)熱量，間接降低車間空調(diào)能耗，為企業(yè)實(shí)現(xiàn)低碳生產(chǎn)提供有力支持。

憑借CE、cTUVus國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，CR300B可在全球范圍內(nèi)無(wú)障礙應(yīng)用，無(wú)需針對(duì)不同地區(qū)進(jìn)行特殊調(diào)整，為跨國(guó)企業(yè)的設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化部署提供了便利。

在應(yīng)用領(lǐng)域上，CR300B的身影遍布多個(gè)行業(yè)。在半導(dǎo)體制造中，它為晶圓清洗、光刻、薄膜沉積等環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定的潔凈真空環(huán)境，保障芯片加工精度；在真空鍍膜行業(yè)，它滿足了濺射、蒸鍍等工藝對(duì)高清潔度和快速排氣的雙重需求，助力生產(chǎn)出均勻致密的薄膜產(chǎn)品；在科研領(lǐng)域，它為分析儀器、材料研發(fā)等提供可靠的真空條件，支持高精度實(shí)驗(yàn)開(kāi)展；在醫(yī)藥和食品行業(yè)，它的無(wú)油特性避免了污染，可用于藥品真空干燥、食品真空包裝等場(chǎng)景，保障產(chǎn)品安全與品質(zhì)。