池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C003-Y-98-CP

池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C003-Y-98-CP

摘要

池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司近日推出C003-Y-98-CP ESD防靜電真空吸筆，專為8英寸（200mm）半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)設(shè)計(jì)。該產(chǎn)品為NO+SW（常開+開關(guān)）閥門類型，采用固定式接頭，總長280mm，重量27g。主體采用導(dǎo)電尼龍材質(zhì)，用導(dǎo)電PEEK材質(zhì)，主體外層覆蓋導(dǎo)電尼龍以進(jìn)一步減少靜電對晶圓的影響。閥體內(nèi)壁經(jīng)過精細(xì)拋光處理，最大限度減少顆粒產(chǎn)生，適用于半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)、芯片處理、潔凈室操作及SMD元件搬運(yùn)等靜電敏感應(yīng)用場景。

正文

在半導(dǎo)體晶圓制造與封裝過程中，晶圓的安全搬運(yùn)是保障產(chǎn)品良率與品質(zhì)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著晶圓尺寸的增大與集成度的提升，操作人員與晶圓之間的操作距離要求更高，傳統(tǒng)長度的吸筆在某些深槽或高腔體設(shè)備的取放操作中顯得力不從心。針對8英寸晶圓搬運(yùn)中對操作距離、ESD防護(hù)與低顆粒產(chǎn)生的多重需求，池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司推出C003-Y-98-CP ESD防靜電真空吸筆。該產(chǎn)品現(xiàn)已正式供應(yīng)，為半導(dǎo)體晶圓安全搬運(yùn)提供加長型解決方案。

C003-Y-98-CP是C系列ESD真空吸筆中的NO+SW（常開+開關(guān)）閥門類型產(chǎn)品，總長達(dá)280mm，較標(biāo)準(zhǔn)型（247mm）延長了33mm，可滿足深腔體設(shè)備、高壁容器及特定潔凈室布局下的遠(yuǎn)距離操作需求。NO+SW型在未按壓開關(guān)時保持真空吸附狀態(tài)，操作者可通過按壓開關(guān)釋放晶圓，這一設(shè)計(jì)更適合需要長時間保持吸附的搬運(yùn)作業(yè)，顯著減輕操作人員的手指疲勞。產(chǎn)品采用固定式接頭設(shè)計(jì)，確保與真空管路連接的可靠性與氣密性。

在材質(zhì)與靜電防護(hù)方面，C003-Y-98-CP主體采用導(dǎo)電尼龍材質(zhì)，采用導(dǎo)電PEEK（聚醚醚酮）材質(zhì)，主體外層額外覆蓋導(dǎo)電尼龍，可進(jìn)一步減少靜電對晶圓的影響。導(dǎo)電尼龍具有良好的靜電消散性能，可將操作過程中產(chǎn)生的靜電安全導(dǎo)地。導(dǎo)電PEEK在具備優(yōu)異靜電防護(hù)性能的同時，具有良好的耐磨性與耐化學(xué)性，且不會劃傷晶圓表面。閥體內(nèi)壁經(jīng)過精細(xì)拋光處理，最大限度減少閥芯運(yùn)動過程中因摩擦產(chǎn)生的顆粒。

在規(guī)格方面，C003-Y-98-CP總長為280mm，重量僅27g，加長設(shè)計(jì)并未顯著增加重量。緊湊的尺寸便于在潔凈室工作臺等有限空間內(nèi)靈活操作。產(chǎn)品需與真空泵、ESD防靜電管、靜電消散接地套件等配件配合使用。

在應(yīng)用場景方面，C003-Y-98-CP適用于8英寸半導(dǎo)體晶圓的搬運(yùn)與轉(zhuǎn)移、深腔體設(shè)備的取放操作、芯片與裸片的拾取與放置、SMD元件的安全操作，以及各類需要潔凈室環(huán)境與靜電防護(hù)的精密操作場景。

C003-Y-98-CP廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、晶圓處理、芯片組裝及潔凈室操作等領(lǐng)域。池田屋表示，該產(chǎn)品以加長型設(shè)計(jì)與NO+SW閥門配置，為深腔體設(shè)備的晶圓安全搬運(yùn)提供了可靠的ESD防護(hù)解決方案。