池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C002-Y-99-CP（12英寸晶圓用）

池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C002-Y-99-CP（12英寸晶圓用）

摘要

池田屋實業(yè)（深圳）有限公司近日推出C002-Y-99-CP ESD防靜電真空吸筆，專為12英寸（300mm）半導體晶圓搬運設(shè)計。該產(chǎn)品為NO（常開）閥門類型，采用固定式接頭，總長300mm，重量31g。主體采用導電尼龍材質(zhì)，采用導電PEEK材質(zhì)，可有效減少靜電對晶圓的影響。閥體內(nèi)壁經(jīng)過精細拋光處理，最大限度減少顆粒產(chǎn)生。NO型常開設(shè)計在未連接真空時處于導通狀態(tài)，操作簡便，適用于12英寸半導體晶圓搬運、芯片處理、潔凈室操作及深腔體設(shè)備取放等靜電敏感應用場景。

正文

在先進半導體制造工藝中，12英寸（300mm）晶圓已成為主流規(guī)格，其更大的尺寸與更高的集成度對搬運工具的操作便捷性與防靜電性能提出了更嚴格的要求。針對12英寸晶圓搬運中對簡便操作、ESD防護與低顆粒產(chǎn)生的多重需求，池田屋實業(yè)（深圳）有限公司推出C002-Y-99-CP ESD防靜電真空吸筆。該產(chǎn)品現(xiàn)已正式供應，為12英寸晶圓安全高效搬運提供可靠的解決方案。

C002-Y-99-CP是C系列ESD真空吸筆中專為12英寸（300mm）半導體晶圓設(shè)計的NO（常開）閥門類型產(chǎn)品?？傞L達300mm，較8英寸用標準型（247mm）延長了53mm，充分滿足大尺寸晶圓在深腔體設(shè)備、高壁容器及潔凈室特定布局下的遠距離操作需求。與NO+SW型不同，NO型為常開設(shè)計，未連接真空時吸筆處于導通狀態(tài)，操作者通過控制真空源的通斷來實現(xiàn)晶圓的吸附與釋放，無需額外按壓開關(guān)，操作更加直接簡便，適合頻繁取放作業(yè)的場景。

產(chǎn)品采用固定式接頭設(shè)計，確保與真空管路連接的可靠性與氣密性。固定式接頭消除了旋轉(zhuǎn)接頭可能帶來的松動風險，在需要精確定位的晶圓搬運操作中具有明顯優(yōu)勢。

在材質(zhì)與靜電防護方面，C002-Y-99-CP主體采用導電尼龍材質(zhì)，采用導電PEEK（聚醚醚酮）材質(zhì)。導電尼龍具有良好的靜電消散性能，可將操作過程中產(chǎn)生的靜電安全導地，避免靜電積累對晶圓上精密電路的潛在損傷。導電PEEK在具備優(yōu)異靜電防護性能的同時，具有良好的耐磨性與耐化學性，且硬度低于硅材料，不會劃傷晶圓表面，這對于12英寸晶圓的大面積接觸面尤為重要。閥體內(nèi)壁經(jīng)過精細拋光處理，最大限度減少閥芯運動過程中因摩擦產(chǎn)生的顆粒，滿足先進制程對潔凈度的嚴格要求。

在規(guī)格方面，C002-Y-99-CP總長300mm，重量僅31g，加長設(shè)計并未顯著增加重量，確保長時間操作的舒適性。緊湊的吸筆頭設(shè)計便于在晶圓盒、工藝腔體等有限空間內(nèi)靈活操作。產(chǎn)品需與真空泵、ESD防靜電管、靜電消散接地套件等配件配合使用，構(gòu)建完整的ESD安全搬運系統(tǒng)。

在應用場景方面，C002-Y-99-CP廣泛適用于12英寸半導體晶圓的頻繁搬運與轉(zhuǎn)移、深腔體工藝設(shè)備的取放操作、芯片與裸片的拾取與放置、潔凈室環(huán)境下的精密操作，以及各類需要大尺寸晶圓靜電防護的搬運場景。

C002-Y-99-CP廣泛應用于12英寸晶圓制造、半導體封裝、潔凈室操作及芯片組裝等領(lǐng)域。池田屋表示，該產(chǎn)品以加長型設(shè)計與NO閥門常開配置，為12英寸晶圓的高效安全搬運提供了可靠的ESD防護解決方案。