池田屋新品推出三豐STRATO-Apex 776高精度數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

池田屋新品推出三豐STRATO-Apex 776高精度數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

摘要

池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司近日推出三豐（Mitutoyo）STRATO-Apex 776高精度數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。該產(chǎn)品為STRATO-Apex系列中的高精度型號(hào)，測(cè)量范圍700mm(X)×700mm(Y)×600mm(Z)，最小顯示量0.00002mm，最大允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差E0,MPE高達(dá)(0.7+2.5L/1000)μm（使用MPP310Q時(shí)），重復(fù)性范圍R0的最大允許限值(MPL)為0.7μm。采用超高精度結(jié)晶玻璃光柵尺（熱膨脹系數(shù)0.01×10??/°C）與高性能反射式線性編碼器（分辨率0.02μm），標(biāo)配自動(dòng)調(diào)平氣彈簧隔振臺(tái)。三軸最大合成速度519mm/s，3D加速度2598mm/s2，最大工件質(zhì)量500kg。適用于超高精度模具、光學(xué)元件、半導(dǎo)體部件及航空航天精密零件等需要亞微米級(jí)測(cè)量精度的工件三維尺寸與形狀測(cè)量。

正文

在超高精度模具制造、精密光學(xué)元件加工及航空航天關(guān)鍵零件檢測(cè)等領(lǐng)域，對(duì)三維坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度要求已進(jìn)入亞微米級(jí)。傳統(tǒng)測(cè)量機(jī)在1μm級(jí)別的精度難以滿足精密零件日益嚴(yán)苛的公差要求。針對(duì)超高精度工件測(cè)量的需求，池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司推出三豐（Mitutoyo）STRATO-Apex 776高精度數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。該產(chǎn)品現(xiàn)已正式供應(yīng)，為超高精度工件測(cè)量提供可靠的解決方案。

STRATO-Apex 776是三豐STRATO-Apex系列中的高精度型號(hào)，測(cè)量范圍700mm×700mm×600mm。最小顯示量0.00002mm（20nm），最大允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差E0,MPE高達(dá)(0.7+2.5L/1000)μm（使用MPP310Q測(cè)頭時(shí)），重復(fù)性范圍R0的最大允許限值(MPL)為0.7μm，在同類產(chǎn)品中達(dá)到較高的精度水平。各軸采用高剛性空氣軸承導(dǎo)向，通過(guò)改進(jìn)結(jié)構(gòu)與導(dǎo)向機(jī)構(gòu)提高整體剛性，確保高速運(yùn)行時(shí)的測(cè)量精度穩(wěn)定性。

在長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)方面，STRATO-Apex 776各軸配備超高精度結(jié)晶玻璃光柵尺，熱膨脹系數(shù)僅為0.01×10??/°C（幾乎不隨溫度膨脹），結(jié)合最小分辨率2/100μm（0.02μm）的高性能反射式線性編碼器，構(gòu)成超高精度的長(zhǎng)度測(cè)量單元。這一測(cè)量系統(tǒng)同樣應(yīng)用于三豐LEGEX系列超高精度坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，確保了優(yōu)異的測(cè)量精度。

在振動(dòng)隔離方面，STRATO-Apex 776標(biāo)配自動(dòng)調(diào)平氣彈簧隔振臺(tái)，可有效防止地面振動(dòng)傳遞至主機(jī)，避免振動(dòng)對(duì)測(cè)量值的影響。同時(shí)具備利用傳感器檢測(cè)由各軸運(yùn)動(dòng)和工件位置引起的負(fù)載波動(dòng)的功能，能迅速將主機(jī)恢復(fù)到水平位置。精度保證溫度范圍為19-21℃，溫度梯度≤1.0℃/m，測(cè)量臺(tái)采用輝長(zhǎng)巖材質(zhì)，具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性與減振性能。主機(jī)氣壓要求0.4MPa，空氣消耗量60L/min。

在驅(qū)動(dòng)性能方面，三軸最大合成速度519mm/s，3D加速度2598mm/s2，測(cè)量速度1-3mm/s。被測(cè)物體最大高度770mm，最大工件質(zhì)量500kg，測(cè)量臺(tái)尺寸862mm×1420mm。主機(jī)重量（含隔振臺(tái)及控制器）約2180kg，電源支持AC100-240V寬電壓輸入。

STRATO-Apex 776廣泛適用于超高精度模具的尺寸與形狀檢測(cè)、精密光學(xué)元件的非球面與平面度測(cè)量、半導(dǎo)體部件的關(guān)鍵尺寸驗(yàn)證、航空航天零件的復(fù)雜曲面檢測(cè)，以及各類需要亞微米級(jí)測(cè)量精度的工業(yè)與科研應(yīng)用。

STRATO-Apex 776廣泛應(yīng)用于超高精度模具、精密光學(xué)、半導(dǎo)體制造及航空航天等領(lǐng)域。三豐表示，STRATO-Apex系列以超高精度結(jié)晶玻璃光柵尺與自動(dòng)調(diào)平隔振系統(tǒng)，為超高精度工件測(cè)量提供了可靠的解決方案。