池田屋新品ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵

池田屋新品ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵

摘要： 在半導(dǎo)體刻蝕、真空熱處理及鋰電池制造等工藝中，腐蝕性氣體與粉塵對(duì)真空泵的耐用性提出嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）MS系列螺桿型干式真空泵，采用特殊涂層處理與獨(dú)特的轉(zhuǎn)子軸設(shè)計(jì)，顯著提升了耐腐蝕性與粉塵排出性能，支持從大氣壓到極限壓力的全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行，為半導(dǎo)體、電子器件及化工領(lǐng)域的真空排氣系統(tǒng)提供了高可靠性的干式真空解決方案。

正文：

在半導(dǎo)體刻蝕與去膠設(shè)備、真空熱處理爐以及鋰電池電極干燥等工藝中，真空泵常常需要面對(duì)腐蝕性氣體和工藝粉塵的雙重考驗(yàn)。傳統(tǒng)油封泵不僅存在油蒸汽回流污染工藝腔室的風(fēng)險(xiǎn)，且易被腐蝕性介質(zhì)損壞。無(wú)油干式真空泵雖然解決了潔凈問題，但普通干泵在處理含腐蝕性氣體或粉塵的工藝時(shí)，耐久性往往不足。為應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)，池田屋引入U(xiǎn)LVAC MS系列螺桿型干式真空泵。

MS系列是ULVAC在傳統(tǒng)LS系列基礎(chǔ)上開發(fā)的工藝強(qiáng)化型螺桿干泵。其核心優(yōu)勢(shì)在于耐腐蝕與耐粉塵能力。通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸、氣缸等核心部件進(jìn)行特殊涂層處理，有效抵御了工藝氣體的化學(xué)侵蝕。同時(shí)，采用ULVAC獨(dú)特的轉(zhuǎn)子軸設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高效的粉末排出性能，顯著降低了因粉塵堆積導(dǎo)致的泵體故障風(fēng)險(xiǎn)，延長(zhǎng)了維護(hù)周期。此外，該泵具備在從大氣壓到極限壓力的全壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行的能力，適應(yīng)性。

MS系列提供三款型號(hào)以滿足不同抽速需求：MS120A（最大抽速115 m3/h）、MS600A（最大抽速560 m3/h）和MS1200A（最大抽速980 m3/h）。其極限壓力分別可達(dá)≤0.6 Pa（MS120A）和≤0.1 Pa（MS600A/MS1200A）。該系列泵采用三相200V或400V電源，功耗分別為2.4kW、3.1kW和3.1kW，冷卻水流量要求大于4.0 L/min，噪音水平在61至64 dB(A)之間。泵體提供KF、VG及ISO-F等多種法蘭接口，并標(biāo)配消音器及CE、cTUVus安全認(rèn)證。用戶還可根據(jù)工藝需求選配FKM或FFKM密封材質(zhì)，進(jìn)一步增強(qiáng)耐化學(xué)性。

行業(yè)觀察人士指出，在半導(dǎo)體與新能源電池制造向高純度、高精度方向發(fā)展的趨勢(shì)下，耐腐蝕、耐粉塵的干式真空泵已成為關(guān)鍵制程的核心裝備。池田屋此次引入的ULVAC MS系列螺桿型干式真空泵，以其強(qiáng)化耐腐蝕設(shè)計(jì)、高效粉塵排出能力及寬壓力范圍連續(xù)運(yùn)行等核心優(yōu)勢(shì)，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體、電子器件及鋰電池制造領(lǐng)域的真空系統(tǒng)提供了可靠的干式泵選擇。

綜合來(lái)看，該系列產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升腐蝕性與含粉塵工藝的真空系統(tǒng)可靠性，為制造與工藝優(yōu)化提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。